彭博:美担忧先进EUV或已流入中国 阿斯麦否认

美国商务部长卢特尼克据报向荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)高层表达担忧,称其一款先进的极紫外光刻机(EUV)可能已经流入中国,这违反了美国主导的出口限制。阿斯麦对此予以否认。

彭博社引述知情者报道,阿斯麦正面临美国特朗普政府执政以来最大的挑战:在4月的一次会议上,卢特尼克向阿斯麦高层表达对该公司EUV设备流入中国的担忧。

知情者透露, 阿斯麦已驳斥卢特尼克的说法,并解释这些体积堪比校车、产量有限且需要阿斯麦员工持续维护的设备,均不在中国境内。由于特朗普第一任期内实施的限制,阿斯麦从未被允许向中国出口这些设备。

当被问及相关会面情形时,阿斯麦发言人说,公司与各国政府都有沟通,并且从未向中国出口过EUV设备。

发言人称,阿斯麦定期与全球各国政府领导人进行透明公开的对话,“我们理解美国和荷兰出口管制法规背后的国家安全考量,并完全致力于遵守所有适用的法规”。

发言人还补充说,阿斯麦此前已“驳斥多起关于其未遵守对华出口管制规定的毫无根据的传言,这些传言不实且损害了我们的声誉”。

美国商务部没有回应就此事提出的多项问询,包括是否掌握任何证据表明中国境内存在EUV设备。

不过报道引述美国高级官员称,他们掌握有证据,证明阿斯麦曾向中国出口用于运输EUV的专用设备,以及其他可用于EUV的组件,但这些出口证据过于敏感,无法披露。

报道指出,特朗普政府高层持续的担忧,给这家欧洲市值最高的公司带来了更大压力。此前,美国官员曾指责阿斯麦的商业活动损害美国国家安全和科技政策。如果阿斯麦无法消除华盛顿的疑虑,这种情况也可能加剧美国和欧盟之间本已紧张的关系。

目前尚不清楚特朗普政府究竟想从阿斯麦那里得到什么,也不清楚这家设备制造商究竟能提供何种信息,来彻底解决有关中国EUV议题的关切。

荷兰外交部一名代表说,荷兰非常重视在半导体行业中“独特角色”所带来的责任,对EUV和其他相关出口“执行非常严格的限制”,并且“在必要时总会采取干预措施”。

知情者透露,在私下里,阿斯麦已经进入“危机模式”。4月与卢特尼克会面后,这家荷兰公司起草了一份题为“无迹象表明中国境内存在任何阿斯麦EUV”的文件,并在华盛顿开始传阅。

文件称,目前全球共有314台EUV光刻机在运行,26台已退役,而中国境内没有一台;阿斯麦能够自动检测其EUV产品组合中的“任何中断、异常行为或连接中断”,并且由于“特殊操作规程”,客户“未经阿斯麦参与,无法拆卸、运输和重新安置EUV”。

中国无法获得EUV设备,或许是该国人工智能(AI)晶片领军企业华为面临的最大制约因素。华为半导体业务负责人最近在一次罕见的英语公开讲话中,大力宣传了公司在不使用阿斯麦EUV的情况下制造晶片的成果。

如果EUV真的流入中国,这将成为已知最严重的违反美国主导的限制措施的案例之一。这些措施旨在限制北京获取可能惠及军方的AI技术。

美国国会4月提出《硬件技术控制多边协同法案》(MATCH法案),要求荷兰和日本等盟友遵守美国出口管制措施,防止中国获取先进晶片制造设备。这项法案在EUV对华全面禁售的基础上,将浸没式深紫外光刻机(DUV)等设备也纳入全面限制。荷兰政府对上述法案予以反对。

阿斯麦首席执行官富凯说,阿斯麦目前向中国出售的DUV设备,本身就是基于2015年的技术,为八代之前的晶片技术;如果进一步收紧限制,只会加速中国自主研发替代设备的步伐。

阿斯麦今年1月预计,公司今年在中国市场的销售额占比为20%,较去年的33%明显减少。按中国海关总署的数据统计,中国今年首季从荷兰进口的光刻设备同比下降24.3%。

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