台湾星期六(12月27日)深夜发生7级地震,震央在宜兰东部海域,新竹科学园区达4级震度,多家半导体业晶圆厂都进行人员疏散。全球晶片代工巨头台积电表示,公司部分厂区进行了紧急疏散,各厂区工作安全系统运作正常,地震损害则还待清查。
据联合新闻网、自由时报等报道,台湾星期六晚上11时零5分发生规模7级地震,地震深度72.8公里,震央在宜兰县政府东方32.3公里(位于台湾东部海域)。由于晶圆生产重镇新竹和台中震度均达4级,晶圆厂为维护作业安全,启动员工警急疏散机制,包括台积电、联电、世界先进、旺宏和华邦电等晶圆厂,预料疏散无尘室内的作业员工,并待地震停止后,进行机台移位清查作业。
半导体设备表示,以各晶圆厂耐震度设计来看,四级地震发生时,通常会导致生产线炉内因移位导致破片,且机台会立即进行渐进式停机。因此设备工程师必须回厂确认机台是否移位,才能重新复机生产。
台积电表示,公司少数位于新竹科学工业园区的厂区达到疏散标准,以人员安全为第一优先考虑,依紧急应变程序进行人员室外疏散与清点,各厂区工作安全系统运作正常,地震损害则还待清查。
竹科管理局副局长游静秋表示,目前竹科所辖园区水电正常,生医园区生技大楼及第三生技大楼电梯故障,已连络厂商维修。宜兰园区、龙潭园区等厂商都进行了人员疏散,尚无灾情;新竹园区也有部分厂商人员疏散。
竹科厂务主管则表示,因地震达4级,部分敏感机台设备需重新调校,需要一点时间才能恢复生产,有不少线上晶圆会被震损,地震影响还待清查。
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